概伦电子 FS800 器件参数分析仪

参数测试、可靠性测试、快速脉冲测试

FS800器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特性分析设备。

• 采用自主研发的测试硬件架构和数据总线，支持包括高精度SMU在内的多种自研测试模块，功能全面，配置灵活，扩展性强。
• 在一个FS800系统中几乎可完成所有半导体器件的电性表征，支持电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、低频噪声测试、高速波形发生与釆集测试等能力。
• 采用灵活的模块化体系结构，在同一机箱内可同时安装高精度SMU和低漏电矩阵开关模块，在单台台式设备内即可实现晶圆级器件电性参数的自动化测试。
• 直观的18.5英寸触摸屏界面。
• 内置电性参数测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能，支持脚本化编程平台，可以灵活实现自定义算法和快速扩展。
• 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域

产品亮点

• 性能强大

  量程宽精度高
  支持高速采样时域信号采集、
  任意线性波形生成

• 功能完善

  单机可支持高精度
  IV、CV、脉冲IV、高速波形
  和瞬态IV采样等测试应用

• 可扩展性强

  可支持高达24个SMU
  或132端口矩阵开关
  支持同时安装高精度源表
  和低漏电矩阵开关模块

• 测试效率高

  单台设备内可完成
  晶圆级电性参数的自动化测试
  支持并行测试

• 简单易用

  内置labExpress测试软件
  提供丰富的内置测试算法库、
  数据分析工具和灵活的自定义能力

产品应用

• 工艺制程研发与器件参数测试
• 半导体器件可靠性测试
• 半导体器件超短脉冲测试
• 非易失性存储器测试
• 光电器件和微电子机械系统测试
• 二维材料器件测试
• 金属材料测试
• 新型先进材料与器件测试