中图仪器(CHOTEST)

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GTS激光跟踪仪可广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在高端制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。

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SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

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PLR3000系列光纤激光尺基于激光干涉测量原理，是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点，是特别为超高精度位置反馈应用而设计。

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SJ5800一体型轮廓仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。通过超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机保证测量的超高稳定性及直线度，采用超高精度纳米衍射光学转轴测量系统及高精度直线光栅X轴建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机采用高精度标定系统对采样数据进行修正标定，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓及微观轮廓进行各种粗糙度参数、轮廓参数分析。

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SJ5900光学型轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度光学曲面测量仪。采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高稳定性气浮隔震系统、高性能计算机控制系统技术，实现对球面及非球面光学元器件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。专业为非球面镜片的大曲面测试，通过高稳定性的气浮隔震系统保证仪器不受外界振动影响，计算机采用高精度标定系统对采样数据进行修正标定，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓及微观轮廓进行非球面参数分析、各种粗糙度参数、轮廓参数分析。

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Mizar Gold系列是中图仪器设计和生产的高性能三坐标测量机，支持触发、扫描和非接触式探测系统，能够精确测量各类零部件的尺寸、形状及相互位置关系，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。

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有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统是一款集成高精度平面尺寸检测和亚纳米级表面3D形貌测量的光学检测仪器，同时满足大范围多区域的高精度全自动检测，优异的重复性及效率有效减少人为误差及人员投入。

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WD4000无图晶圆几何量测系统自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D 层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；红外传感器发出的探测光在Wafer 不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量Bonding Wafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。

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VJ系列3D轮廓测量仪，搭配高精度线激光测头，结合高精度图像分析算法，无接触扫描3D轮廓成像，实现尺寸的快速精确测量。CNC模式下，只需按下启动键，仪器即可根据工件的形状自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、报表生成，真正实现一键式快速精准测量。

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Hybrid系列复合式闪测仪是一种先进的全自动影像测量仪，基于大理石主体机台和精密伺服控制系统，采用电动变倍镜头和大视场双远心镜头的混合架构，充分发挥光学电动变倍镜头的高精度优势和大视场双远心镜头的效率优势，实现精度和效率的优化组合测量。Hybrid复合式闪测仪功能强大，可实现各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差等精密测量。

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Novator系列是一种先进的全自动影像测量仪，采用大理石主体机台和精密伺服控制系统，实现高精度运动测量；充分发挥光学电动变倍镜头的高精度优势，将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，实现2.5D和完全意义的3D复合测量。Novator还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。多种测量新特性、新功能的创新支持，赋予Novator强大的测量能力。

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Nano Step系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。

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SuperView WT3000系列白光干涉共聚焦轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身，能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

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SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

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CEM3000A台式扫描电镜是一款用于对材料表面进行微观尺度形貌观测和分析的精密仪器，其配备了二次电子探头和背散射电子探头，同时搭配高真空和低真空模式，针对不同类型的材料表面均可实现高精度扫描获取大景深、高分辨率、高衬度的清晰形貌图像。同时搭配能谱仪使用，可获取材料元素成分。

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