股票代码:002819
森美协尔 CG系列 真空高低温探针台
浏览量:427

森美协尔 CG系列 真空高低温探针台

型  号:CG系列
名  称:真空高低温探针台
品  牌:森美协尔(SEMISHARE)
分  类:半导体设备 > 半导体材料测试 > 探针台
产品属性:主机
简  述:

CG系列探针台可提供在超高真空与高低温转换的环境下, 实现对器件及材料表征的IV/CV特性测试、射频测试、光电 测试、电磁输运特性及霍尔效应等测试。 通过设置真空腔、防辐射屏等结构,能够有效的营造一个集 成高温、低温、真空等测试环境,能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。

CG系列探针台可提供在超高真空与高低温转换的环境下, 实现对器件及材料表征的IV/CV特性测试、射频测试、光电 测试、电磁输运特性及霍尔效应等测试。 通过设置真空腔、防辐射屏等结构,能够有效的营造一个集 成高温、低温、真空等测试环境,能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。

 

产品亮点:CG系列真空高低温探针台

 

  • 可支持4.2K-450K温度
  • 防辐射屏设计,提高样品温度均匀与准确性
  • 探针热沉设计,保证精准落针
  • 可升级加载磁场
  • 灵活且可扩展的测试应用配置
  • 自动冷媒流量控制,自动精准控温

 

产品参数:CG系列真空高低温探针台

 

型号 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG-C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 约170KG 约190KG 约290KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
样品台 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片
样品台移动 固定的样品台
真空度 10^-10torr最高真空
光学特性 显微镜行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍数 变焦:7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜(20X~1000X)
真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
温控
规格
制冷方式 液氮/液氦 制冷压缩机
控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制 闭循环自动控制
控温范围 77K~450K 4.2K~450K
控温分辨率 0.001K
温度稳定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.08K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可选) 973K ±1.0K(可选)
常温到8K冷却时间 90min 150min
8K到常温升温时间 90min 90min
常温开始的升温时间 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加热电源 LVDC 低压直流
传感器 硅二极管
传感器数量 样品台,防辐射屏,探针臂各一个
功率 50W/100W/500W/1000W
点针规格 探针数量 2个/4个/6个
探针调节 真空波纹管外部调节,手动控制
点针精度 2微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏电精度 10pA/100fA
接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口
可选附件 防震桌
多级压缩制冷机
机械泵/分子泵组/离子泵
射频部件
Chuck运动装置
电磁铁系统/超导磁铁系统
1Mpa正压系统升级
超高温升级选件
超高真空升级选件
客户特殊定制

(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)

心中有疑惑就问问买过此商品的同学吧~

我要提问

提问

您的问题将推送给已购用户,TA们会帮您解答

取消
东方中科 股票代码:002819
忘记密码?
忘记密码?
东方中科 股票代码:002819

账号注册

东方中科 股票代码:002819

重置密码