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森美协尔 C系列 手动探针台
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森美协尔 C系列 手动探针台

型  号:C系列
名  称:手动探针台
品  牌:森美协尔(SEMISHARE)
分  类:半导体设备 > 半导体材料测试 > 探针台
产品属性:主机
简  述:

C系列探针台通过增加屏蔽腔体的结构可实现无电磁干扰 (EMI) /射频干扰 (RFI)和不透光的测量环境,可在非真空条件下实现高低温测试需求。

C系列探针台通过增加屏蔽腔体的结构可实现无电磁干扰 (EMI) /射频干扰 (RFI)和不透光的测量环境,可在非真空条件下实现高低温测试需求。

 

产品亮点:C系列手动探针台

 

  • 气控式卡盘移动平台
  • 可升降式针座平台
  • 先进的3倍率成像技术,显著提升测试效率
  • 屏蔽腔体结构设计

 

产品参数:C系列手动探针台

 

卡盘XY移动平台(标准配置)

XY行程范围 300 mm x300 mm (12"x12")
XY最佳行程 300mm x 300 mm(满足大范围行程测试)
移动精度/分辨率 < 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev)
平面性 ±5µm
theta行程 粗调:360°
微调精度:± 8.0° (optional)*
分辨率:7.5 x 10-3 gradient
运动控制 气控+无牙螺母控制
Z轴升降 快速升降:3mm
微调升降:0-13mm,精度:≤2µm

针座平台

材料 钢镀镍
最大针座数量 8 DC and 4 RF(取于针座配置)
卡盘到针座平台下底面最佳距离  
Z-height运动范围 Max.0-40mm (取于卡盘配置)
Separation lift 3段:分离(300µm),Load装载(5mm),不间断升降(0-40mm)
接触重复性 < ±1µm (0.08 mils)
RF 针座固定 磁力吸附/真空吸附
DC 针座固定 磁力吸附/真空吸附

(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)

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