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Hitachi FT9500系列/FT9500X系列 高性能X射线荧光镀层厚度测量仪

Hitachi FT9500系列/FT9500X系列 高性能X射线荧光镀层厚度测量仪
浏览量:4165
型  号:FT9500系列/FT9500X系列
名  称:高性能X射线荧光镀层厚度测量仪
品  牌:日立高新(Hitachi)
分  类:材料与结构分析 > X射线系列
产品属性:主机
产品状态:停产
简  述:

搭载了新型X射线聚光系统(毛细管),可发射实际照射直径为30um的高亮度X射线。可对引脚架、连接器、灵活基板、微型薄膜进行检测。

X射线发生系统是X射线聚光系统(聚光导管)与X射线管相结合,从而在FT9500上产生光斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。
在FT9500X中,我们开发了新型X射线聚光导管(单毛细管),实现了FT史上最小的实际照射约为Φ30μm的高强度X光束照射。
为此,可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插件、柔性线路板等微小零件及极薄镀层进行测量。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列 特长


  1. X射线发生系统采用了聚光导管
    因为采用了X射线聚光导管方式,所以可以得到以往10倍以上的X射线强度,从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。
  2. 不需液氮的半导体检测器
    在进行薄膜测量时,高分辨率的检测器是必不可缺的。FT9500的检测器不但可以达到高分辨率而且可以实现高计数率。同时,由于使用了电子冷却方式,所以无需液氮。
  3. Φ30μm高强度X光束照射
    FT9500X作为聚光导管方式的镀层测量仪,可进行最高达Φ30μm高强度X光束照射。另外,与FT9500相比,仅相当过去约10%的照射面积即可进行同等精度的测量。
  4. 多镀层的厚度测量
    FT9500可以同时对纳米等级的电子材料上多镀层的各层厚度进行测量,最多五层镀层及组成。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列 规格


?FT9500系列 FT9500X系列
测 量 元 素 原子序数13 (Al)~83 (Bi)
X 射 线 管 管电压:50kV 管电流:1mA
检 测 器 半导体检测器(无液化氮)
X 射 线 聚 光 聚光导管方式
X射线照射尺寸 Φ0.1mm Φ30μm
样 品 观 察 CCD摄像头(带变焦功能)
对 焦 激光对焦
一次滤波器(电动切换) 选购项
X-ray Station 电脑 (OS: Windows)
19英寸液晶显示屏
打 印 机 喷墨打印机(选购项)
镀层厚度测量软件 薄膜FP法(最大5层、各层10种元素) 标准曲线法(单层、双层、合金镀层成分)
定量分析软件 块体FP法、块体标准曲线法
测 量 功 能 自动测量、中心搜索、图像处理
修 正 功 能 底材修正、已知样品修正
定 性 功 能 KLM标记功能、比较显示
统计处理功能 配备MS-EXCEL?
报告生成功能 配备MS-WORD?
安 全 功 能 样品门联锁
防冲撞功能
使 用 电 源 100V/15A 带地线的3孔插座

选购项


  • 电镀液分析(块体标准曲线)
  • 能谱匹配软件(材料辨别)
  • 扫描(强度面分析多点表示)软件

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