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Hitachi FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪

Hitachi FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪
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型  号:FT110A
名  称:X射线荧光镀层厚度测量仪
品  牌:日立高新(Hitachi)
分  类:材料与结构分析 > X射线系列
产品属性:主机
简  述:

具有自动对焦功能,只需在样品台上放置好样品,即可在数秒内自动完成样品观察光学系统的对焦。

1.即放即测!
2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量!
3.可无标样测量!
4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!

FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪 特长


  1. 通过自动定位功能提高操作性
    测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。
  2. 微区膜厚测量精度提高
    通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
  3. 多达5层的多镀层测量
    使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
  4. 广域观察系统(选配)
    可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
  5. 对应大型印刷线路板(选配)
    可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
  6. 低价位
    与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。

FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪 规格


型号FT110A
测量元素原子序号Ti(22)~Bi(83)
X射线源空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000µA
检测器比例计数管
准直器○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2?
样品观察CCD摄像头
对焦激光对焦(自动)
滤波器一次滤波器(自动切换)
样品区域[固定]535×530 mm
[电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm)
测量软件薄膜FP法(最大2层、10种元素)、检量线法
安全功能样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能

选购项
  • 图像处理软件
  • 块体FP软件(材料组成分析)
  • 块体检量线软件(电镀液分析)

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