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森美协尔 FA系列 手动探针台
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森美协尔 FA系列 手动探针台

型  号:FA系列
名  称:手动探针台
品  牌:森美协尔(SEMISHARE)
分  类:半导体设备 > 半导体材料测试 > 探针台
产品属性:主机
简  述:

FA系列探针台是专为失效分析实验室设计的一款量测设备,具光学特性、激光特性,设备结构稳定,系统性能优异, 支持多功能升级,产品功能丰富齐全。

FA系列探针台是专为失效分析实验室设计的一款量测设备,具光学特性、激光特性,设备结构稳定,系统性能优异, 支持多功能升级,产品功能丰富齐全。

 

产品亮点:FA系列手动探针台

 

  • 支持加载针卡,提升点针测试效率
  • 卡盘可升降调节,便于样品快速分离探针
  • 标配金相显微镜,达到1μm以上的Pad测试
  • 显微镜气控式升降调节
  • 多波段激光应用,快速切换更精准切割

 

产品参数:FA系列手动探针台

 

规格 FA8 FA8-SC
外形 960mm长*850mm宽*1500mm高 880mm长*860mm宽*1550mm高
重量 约260KG 约280KG
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 8英寸,可360度旋转
行程 X-Y行程8*8英寸
移动精度 1um
样品固定方式 真空吸附 真空吸附
温控范围 - ﹣80~200℃
快速拉出 -
特殊运用 电学独立悬空,可作为背电极使用
针座平台 规格 U型平台,最多可放置10个针座 O型平台,最多可放置12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm
放大倍数 20~4000X
镜头切换时操作 快速倾仰/气动升降
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
激光特性 波段 波长可选择1064/532/355/266nm波段
功率 输出功率2.2mJ/pulse (可升级)
微加工能力 可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等
精度 最小可加工精度1*1um(配置100X镜头时)
冷却方式 可选择风冷激光或水冷激光
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口

(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)

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