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同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪
同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪
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同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

型  号:TH510系列
名  称:半导体器件C-V特性测试仪
品  牌:同惠(Tonghui)
分  类:半导体设备 > 半导体材料测试 > 半导体参数分析仪
产品属性:主机
简  述:

TH510系列半导体C-V特性分析仪创新性地采用了双CPU架构、Linux底层系统、10.1英寸电容式触摸屏、中英文操作界面、内置使用说明及帮助等新一代技术,适用于生产线快速分选、自动化集成测试及满足实验室研发及分析。TH510系列半导体C-V特性分析仪测试频率为10kHz-2MHz,VGS电压可达±40V,足以满足二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件CV特性测试分析。

性能特点

 

  • 通道:2(可扩展至6)
  • 高偏置:VGS:0 - ±40V,VDS:0–200V,1500V,3000V
  • 双CPU架构,最短积分时间0.56ms(1800次/秒)
  • 10.1英寸电容式触摸屏,分辨率1280*800,Linux系统
  • 点测、列表扫描、图形扫描(选件)三种测试方式
  • 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg)同屏显示
  • 快速导通测试Cont
  • 一体化设计:LCR+高压源+继电器矩阵
  • 快速充电,缩短电容充电时间,实现快速测试
  • 自动延时设置
  • 10档分选

 

产品综述

 

TH510系列半导体C-V特性分析仪是同惠电子针对半导体材料及器件生产与研发的分析仪器。

TH510系列半导体C-V特性分析仪创新性地采用了双CPU架构、Linux底层系统、10.1英寸电容式触摸屏、中英文操作界面、内置使用说明及帮助等新一代技术,适用于生产线快速分选、自动化集成测试及满足实验室研发及分析。

TH510系列半导体C-V特性分析仪测试频率为10kHz-2MHz, VGS电压可达±40V,足以满足二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件CV特性测试分析。

得益于10.1英寸、分辨率达1280*800的电容式触摸屏,TH510系列半导体器件C-V特性分析仪可将四个参数同屏显示、所有设置、监视、分选参数、状态等可以在同一屏显示,避免了频繁的切换的操作。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

功能特点

A.单点测试,10.1英寸大屏,四种寄生参数同屏显示,让细节一览无遗

10.1英寸触摸屏、1280*800分辨率,Linux系统、中英文操作界面,支持键盘、鼠标、LAN接口,带来了无以伦比的操作便捷性。

MOSFET最重要的四个寄生参数:Ciss、Coss、Crss、Rg在同一个界面直接显示测量结果,并将四个参数测试等效电路图同时显示,一目了然。

多至6个通道测量参数可快速调用,分选结果在同一界面直接显示。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

B.列表测试,灵活组合

TH510系列半导体C-V特性分析仪支持最多6个通道、4个测量参数的测试及分析,列表扫描模式支持不同通道、不同参数、不同测量条件任意组合,并可设置极限范围,并显示测量结果 。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

C.曲线扫描功能(选件)

TH510系列半导体C-V特性分析仪支持C-V特性曲线分析,可以对数、线性两种方式实现曲线扫描,可同时显示多条曲线:同一参数、不同Vg的多条曲线;同一Vg、不同参数多条曲线 。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

D.简单快捷设置

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

E.10档分选及可编程HANDLER接口

仪器提供了10档分选,为客户产品质量分级提供了可能,分选结果直接输出至HANDLER接口。

在与自动化设备连接时,怎么配置HANDLER接口输出,一直是自动化客户的难题,TH510系列将HANDLER接口脚位、输入输出方式、对应信号、应答方式等完全可视化,让自动化连接更简单。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

F.支持定制化,智能固件升级方式

同惠仪器对于客户而言是开放的,仪器所有接口、指令集均为开放设计,客户可自行编程集成或进行功能定制,定制功能若无硬件更改,可直接通过固件升级方式更新。

仪器本身功能完善、BUG解决、功能升级等,都可以通过升级固件(Firmware)来进行更新,而无需返厂进行。

固件升级非常智能,可以通过系统设置界面或者文件管理界面进行,智能搜索仪器内存、外接优盘甚至是局域网内升级包,并自动进行升级

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

G.半导体元件寄生电容知识

在高频电路中,半导体器件的寄生电容往往会影响半导体的动态特性,所以在设计半导体元件时需要考虑下列因数在高频电路设计中往往需要考虑二极管结电容带来的影响;MOS管的寄生电容会影响管子的动作时间、驱动能力和开关损耗等多方面特性;寄生电容的电压依赖性在电路设计中也是至关重要,以MOSFET为例。

同惠 TH510系列 半导体器件C-V特性测试仪

 

应用

 

  • 半导体元件/功率元件
    二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
  • 半导体材料
    晶圆、C-V特性分析
  • 液晶材料
    弹性常数分析

 

技术参数

 

产品型号 TH511 TH512 TH513
通道数 2(可选配4/6通道) 2
显示 显示器 10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例 16:9
分辨率 1280×RGB×800
测量参数 CISS、COSS、CRSS、Rg,四参数任意选择
测试频率 范围 10kHz-2MHz
精度 0.01%
分辨率 10mHz                                     1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz                                   10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz                                          100.000kHz-999.999kHz
10Hz                                        1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平 电压范围 5mVrms-2Vrms
准确度 ±(10%×设定值+2mV)
分辨率 1mVrms                                    5mVrms-1Vrms
10mVrms                                  1Vrms-2Vrms
VGS电压 范围 0 - ±40V
准确度 1%×设定电压+8mV
分辨率 1mV                                           0V - ±10V
10mV                                        ±10V -±40V
VDS电压 范围 0 - 200V 0 - 1500V 0 - 3000V
准确度 1%×设定电压+100mV
输出阻抗 100Ω,±2%@1kHz
数学运算 与标称值的绝对偏差Δ,与标称值的百分比偏差Δ%
校准功能 开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD
测量平均 1-255次
AD转换时间(ms/次) 快速+:0.56ms(>5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms
最高准确度 0.1%(具体参考说明书)
CISS、COSS、CRSS 0.00001pF - 9.99999F
Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ% ±(0.000% -   999.9%)
多功能参数列表扫描 点数 20点,每个点可设置平均数,每个点可单独分选
参数 测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式 顺序SEQ:当一次触发后,在所有扫描点测量,/EOM/INDEX只输出一次
步进STEP:每次触发执行一个扫描点测量,每点均输出/EOM/INDEX,但列表扫描比较器结果只在最后的/EOM才输出

 

 

附件

 

标配附件

TH26063B六端测试夹具

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